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    半導體制程(支撐)材料

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    全氟丁二烯 CAS:685-63-2

    更新時間:2020-07-04 點擊數:1639

    全氟丁二烯(C4F6)是一種無色無味且不溶于水的氣體。全氟丁二烯熔點為-132.0℃,沸點為5.9℃。全氟丁二烯屬于第三代蝕刻氣體,它與傳統含氟蝕刻氣體相比,具有優越的蝕刻性能和環境性能。

    全氟丁二烯由于其獨特的F/C比,與傳統使用的全氟飽和氟碳類蝕刻氣體相比,具有更高的蝕刻選擇性、精確性和縱橫比,可以蝕刻小于100nm甚至更窄的電子線路。此外,C4F6比c-C4F8具有更高的對光阻和氮化硅選擇比,在使用時可以提高蝕刻的穩定性,提高蝕刻速率和均勻度,從而提高產品優良率。


    產品指標


    此外,由于全氟丁二烯的環境性能優良,用它取代在氧化膜蝕刻工藝中常用的C3F8和c-C4F8蝕刻氣,在排氣中可分別降低溫室氣體全氟化合物(PFCs)體積分數80%和82%。

    產品用途

    應用于半導體芯片的干法刻蝕氣。

    包裝

    鋁白色鋼瓶,鋼瓶型號DOT-3AA,瓶閥型號CGA350,產品規格分為10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三種,包裝規格可根據客戶需求定制。

    貯存

    貯存于陰冷通風干燥處,遠離火種、熱源。



    備案號:魯ICP備17016486號-5

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