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    半導體制程(支撐)材料

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    六氟乙烷 CAS#: 76-16-4

    更新時間:2020-07-04 點擊數:1419

    六氟乙烷 CAS#: 76-16-4

    六氟乙烷(C2F6),又稱全氟乙烷,是一種無色、無味、不可燃的惰性氣體。六氟乙烷熔點為-100.6℃,沸點為-78.2℃,微溶于水。六氟乙烷作為干腐蝕劑具有邊緣側向侵蝕現象極微、高蝕刻率及高精確性的優點,可以極好地滿足線寬較小的制程要求,被廣泛應用于半導體制作過程中。

    產品指標

     產品用途:

    電子級高純六氟乙烷主要在半導體器件制造過程中,作為蝕刻劑、化學氣相沉積(CVD)后的腔體清洗劑等使用,同時也可作為高介電強度制冷劑和電氣設備的氣體絕緣介質使用。        

    包裝、貯存:

    六氟乙烷充裝在經特殊處理的潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中,氣瓶容積分別為4L、8L、10L、12.5L、40L等。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。 



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