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    半導體制程(支撐)材料

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    高純四氟化鍺CAS#:7783-58-6

    更新時間:2020-07-04 點擊數:1953

    高純四氟化鍺CAS#:7783-58-6

    四氟化鍺(GeF4)是一種鍺的氟化物,分子量為148.63,無色、辛辣大蒜氣味氣體,空氣中遇水產生大量白煙。常態下四氟化鍺性質穩定,在水中發生水解,生成GeO2和H2GeF6。四氟化鍺在半導體行業中用于摻雜和離子注入。四氟化鍺結合乙硅烷氣體,可以直接在玻璃基底上制造硅鍺微晶。

    產品指標

    產品用途:

    四氟化鍺在半導體行業中用于摻雜和離子注入。四氟化鍺結合乙硅烷氣體,可以直接在玻璃基底上制造硅鍺微晶。四氟化鍺在化學工業中還可用于合成試劑。    

    包裝、貯存:

    四氟化鍺充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為2 L、5 L、8 L、10 L等。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化鍺儲存于陰涼、通風的庫房,遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備。


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